目前，超精研磨机床上使用是在电机轴上通过联轴器联接有一根旋 转轴，在旋转轴底部两侧分别用曲柄经平衡轮向上安装有两个对称的平衡块，在旋转轴的 下方用曲柄和滑座及其驱动轮安装有一个滑枕，滑枕下端安装有油石夹。
传统的振荡机构存在有如下缺点
1、一旦确定了偏心量，振荡特征就不可改变，因此无法实现往复运 动末端行程的平稳过渡 ；
2、由于采用偏心轴高速旋转，强大的离心力进一步加剧了整个振 荡的不平稳 ；
3、因滑枕高频率往复运动、且无质量平衡也会加剧不平稳性。因此不能满足高 精度表面的研磨要求。
超精研磨技术的往复振荡机构设计
有电机 1、联 轴器 2，旋转轴 3、右平衡块 4、左平衡块 5、平衡轮 9，滑座 10、滑枕 11、油石夹 12，主要改进 点是在左、右平衡轮上分别用轴承和轴承座共同联接有一个槽轮 6，槽轮两侧的旋转轴上对 称突出轴面安装有一个驱动轮 7，驱动轮与滑枕之间轴接有传动板 8。
用槽轮驱 动代替曲柄的偏心轴驱动，可优化加速度平稳变化，振荡转换平稳，又因为平衡块和滑枕的 驱动轮对称安装，分别置于加速度大小相等，方向相反的一条轴线上，在振荡中平衡块与滑 枕质量相当，加速度始终相反，便可形成大小始终相等、作用力与反作用力在槽轮内相互抵 消，实现低冲击力、高频率振荡。
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